顯微鏡資訊：傳統的聚焦離子束顯微鏡具有以下功能和應用

聚焦離子束(FIB)

傳統文化聚焦式離子束顯微鏡具有以下主要功能：

（1）定點切割；

（2）選擇性材料蒸發；

(3)強化蝕刻或選擇性蝕刻;

(4)蝕刻終點檢測等。體視顯微鏡一臺儀器。指從不同角度觀察物體,使雙眼引起立體感覺的雙目顯微鏡。熒光顯微鏡以紫外線為光源， 用以照射被檢物體， 使之發出熒光， 然后在顯微鏡下觀察物體的形狀及其所在位置。熒光顯微鏡用于研究細胞內物質的吸收、運輸、化學物質的分布及定位等。生物顯微鏡用來觀察生物切片、生物細胞、細菌以及活體組織培養、流質沉淀等的觀察和研究，同時可以觀察其他透明或者半透明物體以及粉末、細小顆粒等物體。左圖所示為生產的倒置生物顯微鏡型，該生物顯微鏡也是食品廠、飲用水廠辦QS、HACCP認證的必備檢驗設備。目前，聚焦離子束顯微鏡廣泛應用于半導體電子工業和集成電路工業

主要的應用研究可分為包括以下五大類：

（1）IC線路維修和放置驗證

(2)透射電子顯微鏡樣本生產;

(3)部件故障的觀察和分析；

（4）生產線製程異常數據分析及；

(5)IC工藝監控-例如光刻膠切割等。

聚焦離子束(FIB)是**種利用離子束作為入射源來分析或處理材料的方法。聚焦離子束顯微鏡系統是利用電子透鏡將離子束聚焦到一個非常小的微切割儀器中。目前，工業系統中的粒子束主要是液態金屬離子源(LMIS) ，金屬鎵(GA)因其熔點低、蒸氣壓低、抗氧化性能好等優點而被廣泛使用。

典型的離子束顯微鏡包括液態金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子探測器、5-7軸移動樣品底座、真空系統、抗振和磁場裝置、電子控制面板、計算機和其他硬件設備。對液態金屬離子源施加電場(抑制器)可以使液態鎵形成細小的**，負電場(提取器)拉動**鎵。鎵離子束通過電透鏡聚焦，離子束的大小可以通過一系列可變孔徑(AVA)來確定，然后離子束兩次聚焦在試件表面，通過物理碰撞達到切割的目的。